LED外延片PL譜掃描成像儀/PL Mapping/PL譜儀

功能介紹

1. 檢測外延片PL(光致發光)光譜和白光反射光譜。
2. 通過外延片PL光譜測量外延片逐點的:峰值波長(WLP)、主波長(WLD)、光譜半寬(HW)、積分光強(INT)、峰強度(PI)。
3. 通過白光反射光譜測量外延片逐點的:薄膜厚度(Thickness)和反射率(PR)。
4. 顯示及輸出各被測量參數的均值(Mean)、均方差(Std)、標準差率(CV)等統計結果,并以圖形形式顯示各項參數的Mapping分布。
5. 其他選配功能:
·  可選配多個激光器,最多可配4個激光器。
·  可配置測量各波長段(UV-VIS-NIR)DBR(分布布拉格反射)數據。
·  可配置外延片翹曲度測量功能。
·  可配置激光打標機。
·  可配置光功率傳感器。(對應Photo Detector)

設備機型

IM-1130(移動機柜手動型PL譜儀):IM-1130型PL譜儀采用可移動機柜形式,方便操作,標準機型可測量2、4、6寸片,其中2寸片可一次測量4片,根據客戶需要可配置一次測量9個2寸片的載物臺。
 
IM-2040(傾斜料倉2、4寸自動型PL譜儀):IM-2000全自動型PL譜儀是針對2、4寸片專門設計的自動機型。該型號設備使用標準cassette料盒為載具,一次最多可放置3個料盒,共75片外延片。
 
IM-3000(雙臂機械手型PL譜儀)IM-3000雙臂機械手型PL譜選用柱坐標機械手自動取放片,自動正片,使用標準cassette料盒為載具,共設有3個工位,一次最多可測75只外延片。